每经AI快讯，有者在者互动平台提问：日本对euv掩膜版设备进行了限制，MueTec的掩膜版检测设备能否进行国产替代？

　　天准科技（688003.SH）5月29日在者互动平台表示，Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺，目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度。

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